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无蜡垫系列

2019-5-16


产品介绍:         

    无蜡垫产品可对硅片进行无蜡抛光,省时、省力、成本低。非常适用于蓝宝石片、LCD基片、无蜡硅晶片、玻璃面板、光学晶体片、激光晶体片等有效的防止晶片穿插和剥离现象的发生,提高抛光垫的使用寿命,同时避免碎片、崩角、刮伤现象的产生,提高晶片抛光合格率及效率。(可根据客户需求尺寸制定相应产品)

产品应用:

主要用于半导体硅晶体材料,宝石晶体片,硅片外延片等产品的单面抛光,属于电子材料的抛光装置。

产品参数

  目                                           

单位                   

检测方法

标准值

  度                                                         

mm

厚度仪、千分尺

±0.1

    深  度   

                      

mm

高精度数显千分表

±0.01

  度                                                        

g/cm3

称重测量

0.5±0.05

  度                                                                

mm

游标卡尺

±2

    压缩比   

                            

%

GBT 20671.2-2006

40±5

  硬 度                                                       

°

硬度计

65±5

 


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